在精密光学、半导体测试/制造、激光加工、平板显示器制造等行业中。通常需要多自由度的精密运动。当需要处理大的表面时，所涉及的定位平台的平面度规格(垂直偏差)特别重要，例如，为了减少离焦误差。
什么是平面XY平台？
堆叠式、集成式和平面式平台设计之间的差异经常被用户误解。根据定义，平面XY载物台或XY工作台使用X轴和Y轴移动的公共参考平面。真正的平面运动不适用于交叉滚子轴承——它们用于堆叠集成设计。
堆叠、集成和平面XY载物台
XY运动可以通过叠加两个行程或类型相近的直线平台来实现(根据应用要求也可以不同)。这种模块化设计提供了灵活性。缺点-对于长行程-行程结束时平面度误差和俯仰/滚动误差增加，这是由于缺乏对上轴底部的支撑造成的。
龙门XY平台(直角坐标机器人平台)
龙门XY平台是堆叠平台设计的另一种形式。当需要覆盖重载的长XY移动距离，或者从上方扫描或加工固定工件时，通常使用龙门XY运动系统。需要具有特殊台架控制算法的运动控制器来获得最佳性能并避免束缚。龙门XY运动系统有很多种，通常建立在花岗岩基座上，以提供超高的稳定性和精度，通常用于激光加工、成像和计量应用。
集成XY平台(通常误称为平面XY平台)可以制造成具有低轮廓，因为中心板既用作下轴的移动顶板又用作上轴的移动底板。一体式XY平台通常具有正方形的占地面积，更宽的支座底座减少了上述由悬臂效应引起的几何误差。就像堆叠的线性平台一样，它们确实停留在它们的中间位置范围内。
同类型轴承(交叉滚子轴承、循环滚珠轴承等。)和驱动机构(丝杠、滚珠丝杠、直线电机)可用于堆叠式直线平台。
如果XY工作台占用区域之外的移动是不可接受的和/或需要最高的几何性能，可以使用平面XY工作台。平面XY平台通常基于空气轴承、磁悬浮或(在短行程范围内非常流行的)柔性导轨。XY工作台提供最高的几何性能，最适合要求高精度的应用，例如半导体晶片检测中的常见应用。
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